Silan (SiH4)

Technische Parameter

Silan ist eine Verbindung aus Silicium und Wasserstoff. Es ist ein Oberbegriff für eine Reihe von Verbindungen, darunter Monosilan (SiH₄), Disilan (Si₂H₆) und einige höhere Silicium-Wasserstoff-Verbindungen. Monosilan ist die gebräuchlichste dieser Verbindungen und wird daher oft kurz als Silan bezeichnet. Silan ist ein farbloses Gas mit einem unangenehmen Knoblauchgeruch. Es ist in Wasser löslich, jedoch nahezu unlöslich in Ethanol, Ether, Benzol, Chloroform, Siliciumchloroform und Siliciumtetrachlorid. Silane sind chemisch deutlich reaktiver als Alkane und oxidieren leicht. Bei Kontakt mit Luft kann es zur Selbstentzündung kommen. Unterhalb von 25 °C reagiert Silan nicht mit Stickstoff und bei Raumtemperatur nicht mit Kohlenwasserstoffen. Brände und Explosionen von Silan entstehen durch die Reaktion mit Sauerstoff. Silan ist extrem sauerstoff- und luftempfindlich. In bestimmten Konzentrationen reagiert Silan bei -180 °C explosionsartig mit Sauerstoff. Silan hat sich zum wichtigsten Spezialgas in der Halbleiter-Mikroelektronik entwickelt und wird zur Herstellung verschiedenster mikroelektronischer Schichten eingesetzt, darunter Einkristallfilme, mikrokristalline und polykristalline Schichten sowie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Metallsilicide. Die mikroelektronischen Anwendungen von Silan werden stetig weiterentwickelt: Niedertemperaturepitaxie, selektive Epitaxie und Heteroepitaxie finden Anwendung. Silan wird nicht nur für Siliziumbauelemente und integrierte Siliziumschaltungen, sondern auch für Verbindungshalbleiterbauelemente (Galliumarsenid, Siliziumkarbid usw.) verwendet. Darüber hinaus dient es der Herstellung von Quantenfilmmaterialien mit Supergitterstruktur. Man kann sagen, dass Silan heutzutage in nahezu allen modernen Produktionslinien für integrierte Schaltungen zum Einsatz kommt. Die Anwendung von Silan als siliziumhaltiger Film und Beschichtung hat sich von der traditionellen Mikroelektronikindustrie auf diverse Bereiche wie Stahl, Maschinenbau, Chemie und Optik ausgeweitet. Eine weitere mögliche Anwendung von Silan ist die Herstellung von Hochleistungskeramik-Motorteilen, insbesondere die Verwendung von Silan zur Herstellung von Silizid-Mikropulvertechnologie (Si3N4, SiC usw.) hat immer mehr Aufmerksamkeit erregt.

Anwendung:

①Elektronisch:

Silan wird bei der Herstellung von Halbleitern und Dichtungsmitteln auf polykristalline Siliziumschichten auf Siliziumwafern aufgebracht.

②Solar:

Silan wird bei der Herstellung von Solar-Photovoltaikmodulen verwendet.

③Industrie:

Es wird in energiesparendem Grünglas verwendet und kommt beim Dampfabscheidungsverfahren für Dünnschichten zum Einsatz.

Standardverpackung:

Vorteil:

①Mehr als zehn Jahre auf dem Markt;

②ISO-zertifizierter Hersteller;

③Schnelle Lieferung;

④ Stabile Rohstoffquelle;

⑤ Online-Analysesystem zur Qualitätskontrolle in jedem Arbeitsschritt;

⑥Hohe Anforderungen und sorgfältige Vorgehensweise bei der Handhabung der Zylinder vor der Befüllung;

⑦Reinheit: hochreine Elektronikqualität;

⑧Verwendung: Solarzellenmaterialien; Herstellung von hochreinem Polysilizium, Siliziumdioxid und optischen Fasern; Herstellung von farbigem Glas.