Silan (SiH4)

Technische Parameter

Silan ist eine Verbindung aus Silizium und Wasserstoff. Es ist ein allgemeiner Begriff für eine Reihe von Verbindungen, darunter Monosilan (SiH4), Disilan (Si2H6) und einige höherstufige Silizium-Wasserstoff-Verbindungen. Unter ihnen ist Monosilan am häufigsten, manchmal auch kurz Silan genannt. Silan ist ein farbloses Gas mit einem widerlichen Geruch nach Knoblauch. Löslich in Wasser, nahezu unlöslich in Ethanol, Ether, Benzol, Chloroform, Siliziumchloroform und Siliziumtetrachlorid. Die chemischen Eigenschaften von Silanen sind viel aktiver als die von Alkanen und sie werden leicht oxidiert. Bei Kontakt mit Luft kann es zu Selbstentzündungen kommen. Es reagiert nicht mit Stickstoff unter 25 °C und reagiert bei Raumtemperatur nicht mit Kohlenwasserstoffverbindungen. Brände und Explosionen von Silan sind das Ergebnis einer Reaktion mit Sauerstoff. Silan ist äußerst empfindlich gegenüber Sauerstoff und Luft. Silan reagiert ab einer bestimmten Konzentration auch bei einer Temperatur von -180 °C explosionsartig mit Sauerstoff. Silan ist zum wichtigsten Spezialgas für Halbleiter-Mikroelektronikprozesse geworden und wird bei der Herstellung verschiedener mikroelektronischer Filme verwendet, darunter Einkristallfilme, mikrokristalline, polykristalline Filme, Siliziumoxid, Siliziumnitrid und Metallsilizide. Die mikroelektronischen Anwendungen von Silan befinden sich noch in der tiefgreifenden Entwicklung: Niedertemperaturepitaxie, selektive Epitaxie und heteroepitaktische Epitaxie. Nicht nur für Siliziumbauelemente und integrierte Siliziumschaltkreise, sondern auch für Verbindungshalbleiterbauelemente (Galliumarsenid, Siliziumkarbid usw.). Es findet auch Anwendung bei der Herstellung von Übergitter-Quantentopfmaterialien. Man kann sagen, dass Silan heutzutage in fast allen fortschrittlichen Produktionslinien für integrierte Schaltkreise verwendet wird. Die Anwendung von Silan als siliziumhaltiger Film und Beschichtung hat sich von der traditionellen Mikroelektronikindustrie auf verschiedene Bereiche wie Stahl, Maschinen, Chemie und Optik ausgeweitet. Eine weitere potenzielle Anwendung von Silan ist die Herstellung leistungsstarker keramischer Motorteile, insbesondere die Verwendung von Silan zur Herstellung der Silizid-Mikropulvertechnologie (Si3N4, SiC usw.) hat immer mehr Aufmerksamkeit erregt.

Anwendung:

①Elektronisch:

Bei der Herstellung von Halbleitern und Dichtungsmassen wird Silan auf polykristalline Siliziumschichten auf Siliziumwafern aufgetragen.

②Solar:

Silan wird bei der Herstellung von Solar-Photovoltaikmodulen verwendet.

③Industriell:

Es wird in energiesparendem Grünglas verwendet und im Dünnschichtverfahren zur Dampfabscheidung eingesetzt.

Normales Paket:

Vorteil:

①Mehr als zehn Jahre auf dem Markt;

②ISO-Zertifikathersteller;

③Schnelle Lieferung;

④Stabile Rohstoffquelle;

⑤Online-Analysesystem zur Qualitätskontrolle in jedem Schritt;

⑥Hohe Anforderungen und sorgfältiger Prozess bei der Handhabung des Zylinders vor dem Befüllen;

⑦Reinheit: hochreine elektronische Qualität;

⑧Verwendung: Solarzellenmaterialien; Herstellung von hochreinem Polysilizium, Siliziumoxid und optischen Fasern; Herstellung von farbigem Glas.