Silan (SiH4)

Technische Parameter

Silan ist eine Verbindung aus Silizium und Wasserstoff. Es ist ein allgemeiner Begriff für eine Reihe von Verbindungen, darunter Monosilan (SiH4), Disilan (Si2H6) und einige höherwertige Silizium-Wasserstoff-Verbindungen. Unter diesen ist Monosilan am häufigsten und wird manchmal kurz als Silan bezeichnet. Silan ist ein farbloses Gas mit einem widerlichen Knoblauchgeruch. Es ist wasserlöslich, nahezu unlöslich in Ethanol, Ether, Benzol, Chloroform, Siliziumchloroform und Siliziumtetrachlorid. Die chemischen Eigenschaften von Silanen sind viel aktiver als die von Alkanen und sie oxidieren leicht. Bei Kontakt mit Luft kann es zur Selbstentzündung kommen. Es reagiert nicht mit Stickstoff unter 25 °C und nicht mit Kohlenwasserstoffverbindungen bei Raumtemperatur. Feuer und Explosion von Silan sind die Folge der Reaktion mit Sauerstoff. Silan ist äußerst empfindlich gegenüber Sauerstoff und Luft. Ab einer bestimmten Konzentration reagiert Silan bei einer Temperatur von -180 °C auch explosionsartig mit Sauerstoff. Silan hat sich zum wichtigsten Spezialgas in der Halbleiter-Mikroelektronik entwickelt und wird zur Herstellung verschiedener mikroelektronischer Filme verwendet, darunter Einkristallfilme, mikrokristalline Filme, polykristalline Filme, Siliziumoxidfilme, Siliziumnitridfilme und Metallsilizide. Die mikroelektronischen Anwendungen von Silan entwickeln sich noch immer umfassend: Niedertemperaturepitaxie, selektive Epitaxie und heteroepitaktische Epitaxie. Es wird nicht nur für Siliziumbauelemente und integrierte Siliziumschaltkreise verwendet, sondern auch für Verbindungshalbleiterbauelemente (Galliumarsenid, Siliziumkarbid usw.). Es wird auch zur Herstellung von Übergitter-Quantentopfmaterialien verwendet. Man kann sagen, dass Silan heutzutage in fast allen Produktionslinien für fortschrittliche integrierte Schaltkreise verwendet wird. Die Anwendung von Silan als siliziumhaltiger Film und Beschichtung hat sich von der traditionellen Mikroelektronikindustrie auf verschiedene Bereiche wie Stahl, Maschinenbau, Chemie und Optik ausgeweitet. Eine weitere potenzielle Anwendung von Silan ist die Herstellung von Hochleistungskeramik-Motorteilen. Insbesondere die Verwendung von Silan zur Herstellung der Silizid-Mikropulvertechnologie (Si3N4, SiC usw.) hat immer mehr Aufmerksamkeit auf sich gezogen.

Anwendung:

①Elektronisch:

Silan wird bei der Herstellung von Halbleitern und Dichtungsmitteln auf polykristalline Siliziumschichten auf Siliziumwafern aufgetragen.

②Solar:

Silan wird bei der Herstellung von Photovoltaikmodulen verwendet.

③Industriell:

Es wird in energiesparendem Grünglas verwendet und im Dünnschichtverfahren zur Dampfabscheidung eingesetzt.

Normales Paket:

Vorteil:

①Mehr als zehn Jahre auf dem Markt;

②ISO-Zertifikathersteller;

③Schnelle Lieferung;

④Stabile Rohstoffquelle;

⑤Online-Analysesystem zur Qualitätskontrolle in jedem Schritt;

⑥Hohe Anforderungen und sorgfältiger Umgang mit dem Zylinder vor dem Befüllen;

⑦Reinheit: hochreine elektronische Qualität;

⑧Verwendung: Solarzellenmaterialien; Herstellung von hochreinem Polysilizium, Siliziumoxid und Glasfaser; Herstellung von Farbglas.