Silanist eine Verbindung aus Silizium und Wasserstoff und ein allgemeiner Begriff für eine Reihe von Verbindungen. Silan umfasst hauptsächlich Monosilan (SiH4), Disilan (Si2H6) und einige höherstufige Siliziumwasserstoffverbindungen mit der allgemeinen Formel SinH2n+2. In der tatsächlichen Produktion bezeichnen wir Monosilan (chemische Formel SiH4) jedoch im Allgemeinen als „Silan“.

Elektronische QualitätSilangaswird hauptsächlich durch verschiedene Reaktionsdestillation und Reinigung von Siliziumpulver, Wasserstoff, Siliziumtetrachlorid, Katalysator usw. gewonnen. Silan mit einer Reinheit von 3N bis 4N wird als Silan in Industriequalität bezeichnet, und Silan mit einer Reinheit von mehr als 6N wird als elektronisches Silan bezeichnet. hochwertiges Silangas.

Als Gasquelle zum Transport von Siliziumkomponenten,Silangashat sich zu einem wichtigen Spezialgas entwickelt, das aufgrund seiner hohen Reinheit und Feinregulierbarkeit nicht durch viele andere Siliziumquellen ersetzt werden kann. Monosilan erzeugt kristallines Silizium durch Pyrolysereaktion, was derzeit weltweit eine der Methoden zur großtechnischen Produktion von körnigem monokristallinem Silizium und polykristallinem Silizium darstellt.

Silaneigenschaften

Silan (SiH4)ist ein farbloses Gas, das mit Luft reagiert und zum Ersticken führt. Sein Synonym ist Siliziumhydrid. Die chemische Formel von Silan lautet SiH4 und sein Gehalt beträgt bis zu 99,99 %. Bei Raumtemperatur und -druck ist Silan ein übelriechendes, giftiges Gas. Der Schmelzpunkt von Silan liegt bei -185℃ und der Siedepunkt bei -112℃. Bei Raumtemperatur ist Silan stabil, aber beim Erhitzen auf 400℃ zerfällt es vollständig in gasförmiges Silizium und Wasserstoff. Silan ist brennbar und explosiv und brennt in Luft oder Halogengas explosionsartig.

Anwendungsfelder

Silan hat ein breites Anwendungsspektrum. Es ist nicht nur die effektivste Möglichkeit, Siliziummoleküle bei der Herstellung von Solarzellen an der Zelloberfläche zu befestigen, sondern wird auch häufig in Produktionsanlagen wie Halbleitern, Flachbildschirmen und beschichtetem Glas eingesetzt.

Silanist die Siliziumquelle für chemische Gasphasenabscheidungsprozesse wie einkristallines Silizium, epitaktische Wafer aus polykristallinem Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Phosphosilikatglas in der Halbleiterindustrie und wird häufig bei der Produktion und Entwicklung von Solarzellen und Silizium-Kopiertrommeln verwendet , optische Sensoren, optische Fasern und Spezialglas.

In den letzten Jahren sind immer noch High-Tech-Anwendungen von Silanen entstanden, darunter die Herstellung von Hochleistungskeramik, Verbundwerkstoffen, Funktionsmaterialien, Biomaterialien, hochenergetischen Materialien usw., die zur Grundlage vieler neuer Technologien, neuer Materialien und neuer Materialien werden Geräte.