Silanist eine Verbindung aus Silizium und Wasserstoff und ein allgemeiner Begriff für eine Reihe von Verbindungen. Silan umfasst hauptsächlich Monosilan (SiH4), Disilan (Si2H6) und einige höherwertige Silizium-Wasserstoff-Verbindungen mit der allgemeinen Formel SinH2n+2. In der Praxis wird Monosilan (chemische Formel SiH4) jedoch im Allgemeinen als „Silan“ bezeichnet.

Elektronische QualitätSilangaswird hauptsächlich durch verschiedene Reaktionsdestillationen und Reinigungen von Siliziumpulver, Wasserstoff, Siliziumtetrachlorid, Katalysatoren usw. gewonnen. Silan mit einer Reinheit von 3N bis 4N wird als Silan in Industriequalität bezeichnet, und Silan mit einer Reinheit von mehr als 6N wird als Silangas in Elektronikqualität bezeichnet.

Als Gasquelle zum Transport von Siliziumkomponenten,Silangasist zu einem wichtigen Spezialgas geworden, das aufgrund seiner hohen Reinheit und Feinsteuerbarkeit durch viele andere Siliziumquellen nicht ersetzt werden kann. Monosilan erzeugt durch Pyrolysereaktion kristallines Silizium, was derzeit eine der weltweit größten Methoden zur Produktion von granuliertem monokristallinem und polykristallinem Silizium in großem Maßstab ist.

Silaneigenschaften

Silan (SiH4)ist ein farbloses Gas, das mit Luft reagiert und Erstickungsgefahr verursacht. Sein Synonym ist Siliziumhydrid. Die chemische Formel von Silan lautet SiH4, und sein Gehalt beträgt bis zu 99,99 %. Bei Raumtemperatur und -druck ist Silan ein übelriechendes, giftiges Gas. Der Schmelzpunkt von Silan liegt bei -185 °C und der Siedepunkt bei -112 °C. Bei Raumtemperatur ist Silan stabil, zersetzt sich jedoch bei Erwärmung auf 400 °C vollständig in gasförmiges Silizium und Wasserstoff. Silan ist entzündlich und explosiv und verbrennt explosionsartig in Luft oder Halogengas.

Anwendungsgebiete

Silan hat ein breites Anwendungsspektrum. Es ist nicht nur die effektivste Methode, Siliziummoleküle bei der Herstellung von Solarzellen an die Zelloberfläche zu binden, sondern wird auch häufig in der Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirmen und beschichtetem Glas eingesetzt.

Silanist die Siliziumquelle für chemische Gasphasenabscheidungsprozesse wie Einkristallsilizium, polykristalline Silizium-Epitaxiewafer, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Phosphorsilikatglas in der Halbleiterindustrie und wird häufig bei der Herstellung und Entwicklung von Solarzellen, Silizium-Kopiertrommeln, fotoelektrischen Sensoren, optischen Fasern und Spezialglas verwendet.

In den letzten Jahren sind immer mehr Hightech-Anwendungen für Silane entstanden, darunter die Herstellung von Hochleistungskeramik, Verbundwerkstoffen, Funktionsmaterialien, Biomaterialien, Hochenergiematerialien usw., und sie werden zur Grundlage vieler neuer Technologien, neuer Materialien und neuer Geräte.