Was ist Tetrafluorkohlenstoff? Wozu dient es?

Was istTetrafluorkohlenstoff? Was nützt das?

Tetrafluorkohlenstoff, auch bekannt als Tetrafluormethan, gilt als anorganische Verbindung. Es wird im Plasmaätzprozess verschiedener integrierter Schaltkreise sowie als Lasergas und Kühlmittel verwendet. Es ist bei normaler Temperatur und normalem Druck relativ stabil, sollte jedoch den Kontakt mit starken Oxidationsmitteln sowie entzündlichen oder brennbaren Materialien vermeiden. Tetrafluorkohlenstoff ist ein nicht brennbares Gas. Bei großer Hitze steigt der Innendruck des Behälters an, und es besteht Riss- und Explosionsgefahr. Es reagiert normalerweise nur bei Raumtemperatur mit flüssigem Ammoniak-Natrium-Metall-Reagenz.

Tetrafluorkohlenstoffist derzeit das am häufigsten in der Mikroelektronikindustrie verwendete Plasmaätzgas. Es kann in großem Umfang zum Ätzen von Silizium, Siliziumdioxid, Phosphorsilikatglas und anderen Dünnschichtmaterialien, zur Oberflächenreinigung elektronischer Geräte, zur Solarzellenproduktion, in der Lasertechnologie, zur Gasphasenisolierung, zur Tieftemperaturkühlung, als Lecksuchmittel und als Reinigungsmittel in der Leiterplattenproduktion eingesetzt werden. Es gibt zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten.