Was ist Tetrafluorkohlenstoff? Was ist der Nutzen?

Was istKohlenstofftetrafluorid? Was ist der Nutzen?

Kohlenstofftetrafluorid, auch Tetrafluormethan genannt, gilt als anorganische Verbindung. Es wird im Plasmaätzprozess verschiedener integrierter Schaltkreise sowie als Lasergas und Kältemittel verwendet. Es ist bei normaler Temperatur und normalem Druck relativ stabil, der Kontakt mit starken Oxidationsmitteln sowie brennbaren oder brennbaren Materialien muss jedoch vermieden werden. Kohlenstofftetrafluorid ist ein nicht brennbares Gas. Bei starker Hitzeeinwirkung erhöht sich der Innendruck des Behälters und es besteht die Gefahr von Rissen und Explosionen. Normalerweise kann es nur bei Raumtemperatur mit flüssigem Ammoniak-Natrium-Metallreagenz interagieren.

Kohlenstofftetrafluoridist derzeit das größte Plasmaätzgas, das in der Mikroelektronikindustrie verwendet wird. Es kann häufig zum Ätzen von Silizium, Siliziumdioxid, Phosphosilikatglas und anderen Dünnschichtmaterialien, zum Reinigen der Oberfläche elektronischer Geräte, zur Herstellung von Solarzellen, zur Lasertechnologie, zur Gasphasenisolierung, zur Tieftemperaturkühlung und zur Leckerkennung eingesetzt werden. und Reinigungsmittel in der Leiterplattenproduktion haben eine Vielzahl von Anwendungen.