Was ist Carbon Tetrafluorid? Was nutzt das?

Was istKohlenstoff -Tetrafluorid? Was nutzt das?

Kohlenstoff -TetrafluoridAuch als Tetrafluormethan bekannt, wird als anorganische Verbindung angesehen. Es wird im Plasmaetchingprozess verschiedener integrierter Schaltungen verwendet und auch als Lasergas und Kältemittel verwendet. Es ist unter normaler Temperatur und Druck relativ stabil, aber es ist erforderlich, Kontakt mit starken Oxidationsmitteln, brennbaren oder brennbaren Materialien zu vermeiden. Carbon Tetrafluorid ist ein nicht brennbares Gas. Wenn es auf hohe Hitze trifft, wird der Innendruck des Behälters zunimmt, und es besteht die Gefahr von Rissen und Explosion. Normalerweise kann es nur mit flüssigem Ammoniak-sodium-Metallreagenz bei Raumtemperatur interagieren.

Kohlenstoff -Tetrafluoridist derzeit das größte Plasmaetchinggas in der Mikroelektronikindustrie. Es kann häufig bei der Ätzen von Silizium, Siliziumdioxid, Phosphosilikatglas und anderen Dünnfilmmaterialien verwendet werden, die Oberfläche elektronischer Geräte, Solarzellenproduktion, Lasertechnologie, Gasphasenisolierung, Niedrigtemperaturkühlung, Leckdetektionsmittel und Deutschen in gedruckten Schaltkreisen haben eine große Anzahl von Anwendungen.