Was ist Kohlenstofftetrafluorid? Wozu wird es verwendet?

Was istKohlenstofftetrafluoridWozu dient das?

KohlenstofftetrafluoridTetrafluormethan (CTF), auch bekannt als Kohlenstofftetrafluormethan, gilt als anorganische Verbindung. Es wird beim Plasmaätzen verschiedener integrierter Schaltungen sowie als Lasergas und Kältemittel eingesetzt. Unter Normalbedingungen ist es relativ stabil, jedoch muss der Kontakt mit starken Oxidationsmitteln und brennbaren oder entzündlichen Stoffen vermieden werden. CTF ist ein nicht brennbares Gas. Bei starker Hitzeeinwirkung steigt der Innendruck im Behälter, wodurch die Gefahr von Rissen und Explosionen besteht. Üblicherweise reagiert es nur mit flüssigem Ammoniak-Natrium-Metall-Reagenz bei Raumtemperatur.

KohlenstofftetrafluoridPlasma ist derzeit das am häufigsten verwendete Plasmaätzgas in der Mikroelektronikindustrie. Es findet breite Anwendung beim Ätzen von Silizium, Siliziumdioxid, Phosphosilikatglas und anderen Dünnschichtmaterialien, bei der Oberflächenreinigung elektronischer Bauteile, in der Solarzellenproduktion, in der Lasertechnologie, bei der Gasphasenisolierung, der Tieftemperaturkühlung, als Lecksuchmittel und als Reinigungsmittel in der Leiterplattenfertigung.