ElektronischSondergasesind ein wichtiger Zweig der Spezialgase. Sie dringen in fast alle Bereiche der Halbleiterproduktion ein und sind unverzichtbare Rohstoffe für die Produktion von Elektronikindustrien wie ultragroßen integrierten Schaltkreisen, Flachbildschirmen und Solarzellen.

In der Halbleitertechnik werden häufig fluorhaltige Gase eingesetzt. Derzeit machen fluorhaltige Elektronikgase auf dem globalen Elektronikgasmarkt etwa 30 % des Gesamtmarktes aus. Fluorhaltige elektronische Gase sind ein wichtiger Bestandteil spezieller elektronischer Gase im Bereich elektronischer Informationsmaterialien. Sie werden hauptsächlich als Reinigungsmittel und Ätzmittel verwendet und können auch als Dotierstoffe, filmbildende Materialien usw. verwendet werden. In diesem Artikel führt Sie der Autor durch die gängigen fluorhaltigen Gase.

Die folgenden sind häufig verwendete fluorhaltige Gase

Stickstofftrifluorid (NF3): Ein Gas zum Reinigen und Entfernen von Ablagerungen, das normalerweise zum Reinigen von Reaktionskammern und Geräteoberflächen verwendet wird.

Schwefelhexafluorid (SF6): Ein Fluorierungsmittel, das bei Oxidabscheidungsprozessen und als Isoliergas zum Füllen von Isoliermedien verwendet wird.

Fluorwasserstoff (HF): Wird zum Entfernen von Oxiden von der Siliziumoberfläche und als Ätzmittel zum Ätzen von Silizium und anderen Materialien verwendet.

Stickstofffluorid (NF): Wird zum Ätzen von Materialien wie Siliziumnitrid (SiN) und Aluminiumnitrid (AlN) verwendet.

Trifluormethan (CHF3) undTetrafluormethan (CF4): Wird zum Ätzen von Fluoridmaterialien wie Siliziumfluorid und Aluminiumfluorid verwendet.

Allerdings bergen fluorhaltige Gase gewisse Gefahren, darunter Toxizität, Ätzwirkung und Entflammbarkeit.

Toxizität

Einige fluorhaltige Gase sind giftig, beispielsweise Fluorwasserstoff (HF), dessen Dämpfe die Haut und die Atemwege stark reizen und gesundheitsschädlich sind.

Korrosivität

Fluorwasserstoff und einige Fluoride sind stark ätzend und können schwere Schäden an Haut, Augen und Atemwegen verursachen.

Entflammbarkeit

Einige Fluoride sind brennbar und reagieren mit Sauerstoff oder Wasser in der Luft unter Freisetzung starker Hitze und giftiger Gase, die einen Brand oder eine Explosion verursachen können.

Gefahr durch Hochdruck

Einige fluorierte Gase sind unter hohem Druck explosiv und erfordern bei Verwendung und Lagerung besondere Vorsicht.

Auswirkungen auf die Umwelt

Fluorhaltige Gase haben eine hohe atmosphärische Lebensdauer und einen hohen GWP-Wert, was eine zerstörerische Wirkung auf die atmosphärische Ozonschicht hat und zu globaler Erwärmung und Umweltverschmutzung führen kann.

Die Anwendung von Gasen in aufstrebenden Bereichen wie der Elektronik nimmt weiter zu, was zu einer großen neuen Nachfrage nach Industriegasen führt. Aufgrund der großen Menge neuer Produktionskapazitäten für wichtige elektronische Komponenten wie Halbleiter und Anzeigetafeln auf dem chinesischen Festland in den nächsten Jahren sowie der starken Nachfrage nach Importsubstitution elektronischer chemischer Materialien wird die heimische Elektronikgasindustrie Einzug halten eine hohe Wachstumsrate.