ElektronischSpezielle Gasesind ein wichtiger Zweig von Spezialgasen. Sie durchdringen fast in jeden Glied der Halbleiterproduktion und sind unverzichtbare Rohstoffe für die Produktion elektronischer Industrien wie integrierte Schaltkreise im Bereich von Ultra-Large-Maßstäben, Displaygeräten für flache Bedingungen und Solarzellen.

In der Halbleitertechnologie werden fluorhaltige Gase weit verbreitet. Derzeit machen fluorhaltige elektronische Gase auf dem globalen Markt für elektronische Gas rund 30% der Gesamtsumme aus. Fluorhaltige elektronische Gase sind ein wichtiger Bestandteil spezieller elektronischer Gase im Bereich elektronischer Informationsmaterialien. Sie werden hauptsächlich als Reinigungsmittel und Radierungsmittel verwendet und können auch als Dotiermittel, filmbildende Materialien usw. verwendet werden. In diesem Artikel wird der Autor Sie dazu bringen, die üblichen fluorhaltigen Gase zu verstehen.

Im Folgenden werden häufig fluorhaltige Gase verwendet

Stickstoff -Trifluorid (NF3): Ein Gas, das zum Reinigen und Entfernen von Ablagerungen verwendet wird, die normalerweise zur Reinigungsreaktionskammern und Geräteflächen verwendet werden.

Schwefelhexafluorid (SF6): Ein fluorinierendes Mittel, das in Oxidabscheidungsprozessen und als Isoliergas zum Füllen von Isoliermedien verwendet wird.

Wasserstofffluorid (HF): Zum Entfernen von Oxiden von der Siliziumoberfläche und als Ätzmittel zum Ätzen von Silizium und anderen Materialien.

Stickstofffluorid (NF): Wird zum Ätzen von Materialien wie Siliziumnitrid (SIN) und Aluminiumnitrid (ALN) verwendet.

Trifluormethan (CHF3) undTetrafluormethan (CF4): Wird zum Ätzen von Fluoridmaterialien wie Siliziumfluorid und Aluminiumfluorid verwendet.

Fluorhaltige Gase weisen jedoch bestimmte Gefahren auf, einschließlich Toxizität, Korrosivität und Entflammbarkeit.

Toxizität

Einige fluorhaltige Gase sind toxisch wie Wasserstofffluorid (HF), dessen Dampf in hohem Maße für die Haut und den Atemweg und schädlich für die menschliche Gesundheit ist.

Korrosivität

Wasserstofffluorid und einige Fluoride sind stark ätzend und können schwere Schäden an Haut, Augen und Atemwege verursachen.

Entflammbarkeit

Einige Fluoride sind brennbar und reagieren mit Sauerstoff oder Wasser in der Luft, um intensive Wärme und giftige Gase zu füllen, die zu Brand oder Explosion führen können.

Hochdruckgefahr

Einige fluorierte Gase sind unter hohem Druck explosiv und erfordern beim Einsatz und Speichern besondere Pflege.

Auswirkungen auf die Umwelt

Fluorhaltige Gase haben hohe atmosphärische Lebensdauer- und GWP-Werte, die sich zerstörerisch auf die atmosphärische Ozonschicht auswirken und die globale Erwärmung und Umweltverschmutzung verursachen können.

Die Anwendung von Gasen in aufstrebenden Bereichen wie der Elektronik wird weiterhin vertieft und bringt eine große Menge an neuer Nachfrage nach Industriegasen. Basierend auf der großen Menge neuer Produktionskapazität wichtiger elektronischer Komponenten wie Halbleiter und Anzeigepaneele auf dem chinesischen Festland in den nächsten Jahren sowie der starken Nachfrage nach Importsubstitution elektronischer chemischer Materialien wird die inländische elektronische Gasindustrie eine hohe Wachstumsrate einleiten.