Zu den üblichen fluorhaltigen Spezialgasen für die Elektronik zählenSchwefelhexafluorid (SF6), Wolframhexafluorid (WF6),Tetrafluorkohlenstoff (CF4), Trifluormethan (CHF3), Stickstofftrifluorid (NF3), Hexafluorethan (C2F6) und Octafluorpropan (C3F8).
Mit der Entwicklung der Nanotechnologie und der groß angelegten Entwicklung der Elektronikindustrie wird die Nachfrage danach täglich steigen. Stickstofftrifluorid ist ein unverzichtbares und am häufigsten verwendetes Spezialgas für die Elektronik bei der Herstellung und Verarbeitung von Panels und Halbleitern und verfügt über einen breiten Markt.
Als eine Art fluorhaltiges SpezialgasStickstofftrifluorid (NF3)ist das elektronische Spezialgas mit der größten Marktkapazität. Es ist bei Raumtemperatur chemisch inert, bei hohen Temperaturen aktiver als Sauerstoff, stabiler als Fluor und einfach zu handhaben. Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich als Plasmaätzgas und Reinigungsmittel für Reaktionskammern verwendet und eignet sich für die Herstellung von Halbleiterchips, Flachbildschirmen, Glasfasern, Photovoltaikzellen usw.
Im Vergleich zu anderen fluorhaltigen elektronischen Gasen,Stickstofftrifluoridbietet die Vorteile einer schnellen Reaktion und hohen Effizienz. Insbesondere beim Ätzen von siliziumhaltigen Materialien wie Siliziumnitrid weist es eine hohe Ätzrate und Selektivität auf und hinterlässt keine Rückstände auf der Oberfläche des geätzten Objekts. Es ist außerdem ein sehr gutes Reinigungsmittel und verunreinigt die Oberfläche nicht, was den Anforderungen des Verarbeitungsprozesses gerecht wird.
Veröffentlichungszeit: 14. September 2024
