Zu den gängigen fluorhaltigen Spezialgasen für die Elektronik gehörenSchwefelhexafluorid (SF6), Wolframhexafluorid (WF6),Kohlenstofftetrafluorid (CF4), Trifluormethan (CHF3), Stickstofftrifluorid (NF3), Hexafluorethan (C2F6) und Octafluorpropan (C3F8).
Mit der Entwicklung der Nanotechnologie und dem rasanten Wachstum der Elektronikindustrie steigt der Bedarf stetig. Stickstofftrifluorid, ein unverzichtbares und weit verbreitetes Spezialgas für die Elektronikindustrie, das in der Produktion und Verarbeitung von Panels und Halbleitern eingesetzt wird, verfügt über ein breites Marktpotenzial.
Als eine Art fluorhaltiges Spezialgas,Stickstofftrifluorid (NF3)Stickstofftrifluorid ist das Elektronik-Spezialgas mit dem größten Marktpotenzial. Es ist bei Raumtemperatur chemisch inert, bei hohen Temperaturen reaktiver als Sauerstoff, stabiler als Fluor und einfach zu handhaben. Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich als Plasmaätzgas und Reinigungsmittel für Reaktionskammern eingesetzt und eignet sich für die Fertigung von Halbleiterchips, Flachbildschirmen, Glasfasern, Photovoltaikzellen usw.
Im Vergleich zu anderen fluorhaltigen ElektronikgasenStickstofftrifluoridEs zeichnet sich durch schnelle Reaktionszeiten und hohe Effizienz aus. Insbesondere beim Ätzen siliziumhaltiger Materialien wie Siliziumnitrid bietet es eine hohe Ätzrate und Selektivität und hinterlässt keine Rückstände auf der Oberfläche des geätzten Objekts. Zudem ist es ein sehr gutes Reinigungsmittel, das die Oberfläche nicht verunreinigt und somit den Anforderungen des Bearbeitungsprozesses gerecht wird.
Veröffentlichungsdatum: 14. September 2024
