Zu den gängigen fluorhaltigen Spezialgasen für die Elektronik gehören:Schwefelhexafluorid (SF6), Wolframhexafluorid (WF6),Kohlenstofftetrafluorid (CF4), Trifluormethan (CHF3), Stickstofftrifluorid (NF3), Hexafluorethan (C2F6) und Octafluorpropan (C3F8).
Mit der Entwicklung der Nanotechnologie und der groß angelegten Entwicklung der Elektronikindustrie wird deren Nachfrage von Tag zu Tag steigen. Stickstofftrifluorid verfügt als unverzichtbares und am häufigsten verwendetes Spezialgas für die Elektronik bei der Herstellung und Verarbeitung von Panels und Halbleitern über einen breiten Markt.
Als eine Art fluorhaltiges Spezialgas,Stickstofftrifluorid (NF3)ist das elektronische Spezialgasprodukt mit der größten Marktkapazität. Es ist bei Raumtemperatur chemisch inert, bei hohen Temperaturen aktiver als Sauerstoff, stabiler als Fluor und einfach zu handhaben. Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich als Plasmaätzgas und Reaktionskammerreinigungsmittel verwendet und eignet sich für die Herstellung von Halbleiterchips, Flachbildschirmen, optischen Fasern, Photovoltaikzellen usw.
Im Vergleich zu anderen fluorhaltigen elektronischen GasenStickstofftrifluoridhat die Vorteile einer schnellen Reaktion und einer hohen Effizienz. Insbesondere beim Ätzen von siliziumhaltigen Materialien wie Siliziumnitrid weist es eine hohe Ätzrate und Selektivität auf und hinterlässt keine Rückstände auf der Oberfläche des geätzten Objekts. Es ist außerdem ein sehr gutes Reinigungsmittel und verunreinigt die Oberfläche nicht, was den Anforderungen des Verarbeitungsprozesses gerecht werden kann.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 14. September 2024
