Im Jahr 2018 erreichte der globale elektronische Gasmarkt für integrierte Schaltkreise 4,512 Milliarden US-Dollar, ein Anstieg von 16%gegenüber dem Vorjahr. Die hohe Wachstumsrate der elektronischen Sondergasindustrie für Halbleiter und die enorme Marktgröße haben den Inlandssubstitutionsplan von elektronischem Spezialgas beschleunigt!
Was ist Elektronenzas?
Das elektronische Gas bezieht sich auf das grundlegende Quellmaterial, das bei der Herstellung von Halbleitern, flachen Panel-Displays, lichtemittierenden Dioden, Solarzellen und anderen elektronischen Produkten verwendet wird, und wird häufig für die Reinigung, Radierung, Filmbildung, Doping und andere Prozesse verwendet. Zu den wichtigsten Anwendungsbereichen des elektronischen Gas gehören die Elektronikindustrie, Solarzellen, Mobilkommunikation, Autonavigation sowie Auto -Audio- und Videosysteme, Luft- und Raumfahrt, Militärindustrie und viele andere Bereiche.
Elektronisches Specialgas kann nach seiner eigenen chemischen Zusammensetzung in sieben Kategorien unterteilt werden: Silizium, Arsen, Phosphor, Bor, Metallhydrid, Halogenid und Metallalkoxid. Nach verschiedenen Anwendungsmethoden in integrierten Schaltungen kann es in Dopinggas, Epitaxiengas, Ionenimplantationsgas, lichtemittiges Diodengas, Ätzengas, chemische Dampfabscheidungsgas und Gleichgewichtsgas unterteilt werden. In der Halbleiterindustrie werden mehr als 110 Spezialgase verwendet, von denen häufig mehr als 30 verwendet werden.
Im Allgemeinen unterteilt die Halbleiterproduktionsindustrie Gase in zwei Arten: gemeinsame Gase und spezielle Gase. Unter ihnen bezieht sich das häufig verwendete Gas auf eine zentralisierte Versorgung und verwendet viel Gas, wie N2, H2, O2, AR, He usw. Speziales Gas bezieht sich auf einige chemische Gase, die bei der Halbleiterproduktion verwendet werden, wie Erweiterung, Ioneninjektion, Mischung, Waschen und Maskenbildung, wie wir jetzt Elektronikgasing wie hochpantiurisch, ash, b2, b2, b2, b2, b2, b2. NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 usw.
Im gesamten Produktionsprozess der Halbleiterindustrie, vom Chip -Wachstum bis zur endgültigen Geräteverpackung, ist fast jede Verbindung mit elektronischem Spezialgas und der Vielfalt des verwendeten Gass und der hohen Qualitätsanforderungen untrennbar mit dem elektronischen Gas Halbleitermaterialien verfügt. "Essen".
In den letzten Jahren haben die wichtigsten elektronischen Komponenten Chinas wie Halbleiter und Display -Panels die neue Produktionskapazität zugenommen, und es besteht eine starke Nachfrage nach Importsubstitution elektronischer chemischer Materialien. Die Position elektronischer Gase in der Halbleiterindustrie ist immer wichtiger geworden. Die inländische elektronische Gasindustrie wird ein schnelles Wachstum einleiten.
Elektronisches Specialgas hat sehr hohe Anforderungen an Reinheit, denn wenn die Reinheit nicht den Anforderungen entspricht, bilden die Unreinheitsgruppen wie Wasserdampf und Sauerstoff im elektronischen Spezialgas leicht Oxidfilm auf der Oberfläche des Halbleiters, was die Lebensdauer der elektronischen Geräte und die elektronischen Gas enthält, die die Partikel von Verunreinigungen verursachen können, und die Schäden von Semikontoren können Schäden von Semikern und Schäden von Semikern verursachen. Es kann gesagt werden, dass die Verbesserung der Reinheit eine wichtige Rolle bei der Ausbeute und Leistung der Produktion elektronischer Geräte spielt.
Mit der kontinuierlichen Entwicklung der Halbleiterindustrie verbessert sich der ChIP-Herstellungsprozess weiter und jetzt hat es 5 nm erreicht, was kurz vor der Grenze des Moores Gesetzes annähert wird, was mit einem Zehnten des Durchmessers eines menschlichen Haares (ca. 0,1 mm) entspricht. Daher stellt dies auch höhere Anforderungen an die Reinheit des von Halbleitern produzierten elektronischen Spezialgases vor.
Postzeit: Dec-15-2021
