Im Jahr 2018 erreichte der weltweite Elektronikgasmarkt für integrierte Schaltkreise 4,512 Milliarden US-Dollar, ein Anstieg von 16 % gegenüber dem Vorjahr. Die hohe Wachstumsrate der elektronischen Spezialgasindustrie für Halbleiter und die enorme Marktgröße haben den inländischen Substitutionsplan für elektronische Spezialgase beschleunigt!
Was ist Elektronengas?
Elektronisches Gas bezieht sich auf das grundlegende Ausgangsmaterial, das bei der Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirmen, Leuchtdioden, Solarzellen und anderen elektronischen Produkten verwendet wird, und wird häufig bei Reinigungs-, Ätz-, Filmbildungs-, Dotierungs- und anderen Prozessen verwendet. Zu den Hauptanwendungsgebieten von elektronischem Gas gehören die Elektronikindustrie, Solarzellen, mobile Kommunikation, Autonavigation und Auto-Audio- und Videosysteme, Luft- und Raumfahrt, Militärindustrie und viele andere Bereiche.
Elektronische Spezialgase können entsprechend ihrer chemischen Zusammensetzung in sieben Kategorien eingeteilt werden: Silizium, Arsen, Phosphor, Bor, Metallhydrid, Halogenid und Metallalkoxid. Je nach Anwendungsmethode in integrierten Schaltkreisen kann es in Dotiergas, Epitaxiegas, Ionenimplantationsgas, Leuchtdiodengas, Ätzgas, chemische Gasphasenabscheidungsgas und Ausgleichsgas unterteilt werden. In der Halbleiterindustrie werden mehr als 110 Spezialgase eingesetzt, von denen mehr als 30 allgemein verwendet werden.
Im Allgemeinen unterteilt die Halbleiterproduktionsindustrie Gase in zwei Arten: gewöhnliche Gase und Spezialgase. Unter diesen bezieht sich das häufig verwendete Gas auf eine zentrale Versorgung und verwendet viel Gas wie N2, H2, O2, Ar, He usw. Spezialgas bezieht sich auf einige chemische Gase, die im Prozess der Halbleiterproduktion verwendet werden, wie z Erweiterung, Ioneninjektion, Mischen, Waschen und Maskenbildung, was wir heute als elektronisches Spezialgas bezeichnen, wie hochreines SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 usw.
Im gesamten Produktionsprozess der Halbleiterindustrie, vom Chip-Wachstum bis zur endgültigen Geräteverpackung, ist fast jede Verbindung untrennbar mit elektronischem Spezialgas, der Vielfalt der verwendeten Gase und hohen Qualitätsanforderungen verbunden, sodass elektronisches Gas über Halbleitermaterialien verfügt. "Essen".
In den letzten Jahren sind die neuen Produktionskapazitäten für wichtige elektronische Komponenten wie Halbleiter und Anzeigetafeln in China gestiegen, und es besteht eine starke Nachfrage nach Importsubstitution elektronischer chemischer Materialien. Die Stellung elektronischer Gase in der Halbleiterindustrie hat immer mehr an Bedeutung gewonnen. Die heimische Elektronikgasindustrie wird ein schnelles Wachstum einläuten.
Elektronisches Spezialgas stellt sehr hohe Anforderungen an die Reinheit, denn wenn die Reinheit nicht den Anforderungen entspricht, bilden die Verunreinigungsgruppen wie Wasserdampf und Sauerstoff im elektronischen Spezialgas leicht einen Oxidfilm auf der Oberfläche des Halbleiters, der sich negativ auf die Leistung auswirkt Lebensdauer elektronischer Geräte, und das elektronische Spezialgas enthält Verunreinigungen, die zu Halbleiterkurzschlüssen und Schaltkreisschäden führen können. Man kann sagen, dass die Verbesserung der Reinheit eine entscheidende Rolle für die Ausbeute und Leistung der Produktion elektronischer Geräte spielt.
Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleiterindustrie verbessert sich der Chipherstellungsprozess weiter und hat nun 5 nm erreicht, was kurz vor der Grenze des Mooreschen Gesetzes steht, das einem Zwanzigstel des Durchmessers eines menschlichen Haares entspricht ( ca. 0,1 mm). Daher werden auch höhere Anforderungen an die Reinheit des von Halbleitern erzeugten Elektronik-Spezialgases gestellt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 15. Dezember 2021
