Wasserstoffchloridist ein farbloses Gas mit stechendem Geruch. Die wässrige Lösung wird als Salzsäure bezeichnet, auch als Salzsäure bekannt. Wasserstoffchlorid ist in Wasser sehr löslich. Bei 0 ° C kann 1 Wasservolumen etwa 500 Volumina Wasserstoffchlorid auflösen.

Es hat die folgenden Eigenschaften und Eigenschaften:

1. hohe Reinheit

Die Reinheit der elektronischen KlasseWasserstoffchloridist sehr hoch, normalerweise auf ppm oder niedrigerer Ebene, um sicherzustellen, dass in den Halbleiterherstellungsprozess keine Verunreinigungen eingeführt werden.

2. Inertheit

Es ist ein chemisch inerter Gas, das nicht mit vielen anderen Substanzen reagiert, was sehr wichtig ist, um eine Kontamination von Halbleitermaterialien und -geräten zu verhindern.

3. hoher Stabilität

Elektronische NoteWasserstoffchloridhat im Allgemeinen eine stabile Chemie, um eine zuverlässige Halbleiterverarbeitung sicherzustellen.

Bei der Verarbeitung der Halbleiterverarbeitung umfassen die Hauptanwendungen von Wasserstoffchlorid elektronisch Grades:

1. Oberflächenreinigung und Vorbereitung

Als effizienter Oberflächenreiniger, elektronischer GradWasserstoffchloridwird verwendet, um Oxide und Verunreinigungen von der Substratoberfläche zu entfernen, um die Qualität und Reinheit der epitaxialen Schicht oder Filme zu gewährleisten.

2.Epitaxiale Wachstumshilfe

Es wird als Oberflächenbehandlungsmittel im epitaxialen Prozess verwendet und hilft, die Qualität der epitaxialen Schicht zu verbessern, die Gitteranpassung zu verbessern und die Bildung von Gitterdefekten zu verringern.

3. Substrat Vorbehandlung

Vor der Vorbereitung von Halbleitergeräten, elektronische NoteWasserstoffchloridKann verwendet werden, um die Substratoberfläche zu behandeln, um eine stabile Basis zu bilden, um die Adhäsion zwischen der epitaxialen Schicht und dem Substrat zu verbessern.

4. Ablagerungshilfsmittel

Im Prozess der chemischen Dampfablagerung (CVD) oder der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) kann der elektronische Wasserstoffchlorid als Gasphasenübertragungsmedium verwendet werden, um an der Ablagerungsreaktion von Halbleitermaterialien teilzunehmen.

5. Gasphasenübertragungsmittel

Als Gasphasenübertragungsmittel werden andere gasförmige Vorläufer in die Reaktionskammer eingeführt, um die Abscheidungsrate und Gleichmäßigkeit des Materials anzupassen.

Diese Eigenschaften machen die elektronische KlasseWasserstoffchloridEin wichtiger Verarbeitungsagent in der Halbleitertechnologie, das einen wesentlichen Einfluss auf die Leistung und Zuverlässigkeit des endgültigen Geräts hat.

Zusätzlich zu seiner Verwendung in der Halbleiterverarbeitung kann elektronischer Wasserstoffchlorid in anderen Bereichen eine Vielzahl von Verwendungszwecken ermitteln, darunter: Herstellung von Materialien mit hoher Reinheit, Brennstoffzellen, Wachstum von Halbleitermaterial, Lithographie der Dampfphase, Materialanalyse, chemische Forschung.

Im Allgemeinen elektronische KlasseWasserstoffchloridist ein vielseitiges, hochreines Gas mit einer Vielzahl von Anwendungen außerhalb der Halbleiterherstellung.