Chlorwasserstoffist ein farbloses Gas mit stechendem Geruch. Seine wässrige Lösung heißt Salzsäure, auch bekannt als Chlorwasserstoffsäure. Chlorwasserstoff ist sehr gut wasserlöslich. Bei 0 °C kann 1 Volumenteil Wasser etwa 500 Volumenteile Chlorwasserstoff lösen.

Es hat die folgenden Eigenschaften und Merkmale:

1. Hohe Reinheit

Die Reinheit der elektronischen QualitätChlorwasserstoffist sehr hoch, normalerweise im ppm-Bereich oder darunter, um sicherzustellen, dass keine Verunreinigungen in den Halbleiterherstellungsprozess gelangen.

2. Trägheit

Es handelt sich um ein chemisch inertes Gas, das mit vielen anderen Substanzen nicht reagiert, was sehr wichtig ist, um eine Kontamination von Halbleitermaterialien und -geräten zu verhindern.

3. Hohe Stabilität

Elektronische NoteChlorwasserstoffverfügt im Allgemeinen über eine stabile Chemie, um eine zuverlässige Halbleiterverarbeitung zu gewährleisten.

Zu den wichtigsten Anwendungen von Chlorwasserstoff in Elektronikqualität in der Halbleiterverarbeitung zählen:

1. Oberflächenreinigung und -vorbereitung

Als effizienter Oberflächenreiniger, ElektronikqualitätChlorwasserstoffwird verwendet, um Oxide und Verunreinigungen von der Substratoberfläche zu entfernen, um die Qualität und Reinheit der epitaktischen Schicht oder des epitaktischen Films sicherzustellen.

2.Epitaktische Wachstumshilfe

Bei der Verwendung als Oberflächenbehandlungsmittel im Epitaxieprozess trägt es dazu bei, die Qualität der Epitaxieschicht zu verbessern, die Gitteranpassung zu verbessern und die Bildung von Gitterdefekten zu verringern.

3. Untergrundvorbehandlung

Vor der Herstellung von Halbleiterbauelementen, elektronischer QualitätChlorwasserstoffkann verwendet werden, um die Substratoberfläche zu behandeln und so eine stabile Basis zu bilden, die die Haftung zwischen der epitaktischen Schicht und dem Substrat verbessert.

4. Abscheidehilfsmittel

Bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) oder physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) kann Chlorwasserstoff in elektronischer Qualität als Gasphasentransfermedium verwendet werden, um an der Abscheidungsreaktion von Halbleitermaterialien teilzunehmen.

5. Gasphasentransfermittel

Als Gasphasenübertragungsmittel werden andere gasförmige Vorläufer in die Reaktionskammer eingeführt, um die Abscheidungsrate und Gleichmäßigkeit des Materials anzupassen.

Diese Eigenschaften machen die elektronische QualitätChlorwasserstoffein wichtiges Verarbeitungsmittel in der Halbleitertechnologie, das einen entscheidenden Einfluss auf die Leistung und Zuverlässigkeit des Endgeräts hat.

Neben seiner Verwendung in der Halbleiterverarbeitung kann Chlorwasserstoff in elektronischer Qualität in zahlreichen anderen Bereichen Verwendung finden, darunter: Herstellung hochreiner Materialien, Brennstoffzellen, Wachstum von Halbleitermaterialien, Dampfphasenlithografie, Materialanalyse, chemische Forschung.

Im Allgemeinen elektronische KlasseChlorwasserstoffist ein vielseitiges, hochreines Gas, das über die Halbleiterherstellung hinaus ein breites Anwendungsspektrum hat.