Lasergas

Lasergas wird hauptsächlich zum Laserglühen und als Lithographiegas in der Elektronikindustrie verwendet. Durch die Innovation von Mobiltelefonbildschirmen und die Erweiterung der Anwendungsbereiche wird der Umfang des Niedertemperatur-Polysiliziummarkts weiter ausgebaut, und der Laser-Annealing-Prozess hat die Leistung von TFTs erheblich verbessert. Unter den Neon-, Fluor- und Argongasen, die im ArF-Excimerlaser zur Herstellung von Halbleitern verwendet werden, macht Neon mehr als 96 % der Lasergasmischung aus. Mit der Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie hat der Einsatz von Excimer-Lasern zugenommen, und die Einführung der Doppelbelichtungstechnologie hat zu einem starken Anstieg der Nachfrage nach Neongas geführt, das von ArF-Excimer-Lasern verbraucht wird. Durch die Förderung der Lokalisierung elektronischer Spezialgase werden inländische Hersteller in Zukunft über bessere Marktwachstumschancen verfügen.

Lithografiemaschinen sind die Kernausrüstung der Halbleiterfertigung. Die Lithographie definiert die Größe von Transistoren. Die koordinierte Entwicklung der Lithografie-Industriekette ist der Schlüssel zum Durchbruch der Lithografiemaschine. Die passenden Halbleitermaterialien wie Fotolack, Fotolithografiegas, Fotomaske sowie Beschichtungs- und Entwicklungsgeräte weisen einen hohen technologischen Gehalt auf. Lithografiegas ist das Gas, das die Lithografiemaschine mit einem Laser im tiefen Ultraviolett erzeugt. Verschiedene Lithografiegase können Lichtquellen unterschiedlicher Wellenlänge erzeugen, und ihre Wellenlänge wirkt sich direkt auf die Auflösung der Lithografiemaschine aus, die einen der Kerne der Lithografiemaschine darstellt. Im Jahr 2020 wird der weltweite Gesamtabsatz von Lithografiegeräten 413 Einheiten betragen, wovon 62 % auf ASML-Absätze von 258 Einheiten, 30 % auf Canon-Absätze von 122 Einheiten und 8 % auf Nikon-Absätze von 33 Einheiten entfielen.