Explosion in Stickstofftrifluorid-NF3-Gasanlage

Gegen 4:30 Uhr am 7. August meldete das Werk von Kanto Denka in Shibukawa der Feuerwehr eine Explosion. Laut Polizei und Feuerwehr verursachte die Explosion einen Brand in einem Teil des Werks. Das Feuer war etwa vier Stunden später gelöscht.

Das Unternehmen gab an, dass das Feuer in einem zur Produktion genutzten Gebäude ausgebrochen sei.StickstofftrifluoridgasDas in der Halbleiterfertigung verwendete Gerät wurde durch den Brand beschädigt. Polizei und Feuerwehr ermitteln derzeit die Brandursache und die genauen Umstände. Es wird erwartet, dass der Brand erhebliche Auswirkungen auf die Geschäftsentwicklung des Unternehmens haben wird.

Ein Vertreter von Kanto Denka sagte: „Wir entschuldigen uns aufrichtig für die Unannehmlichkeiten und die Besorgnis, die den Anwohnern entstanden sind. Wir werden die Ursache untersuchen und alles daransetzen, eine sichere und stabile Produktion zu gewährleisten.“

HochreinStickstofftrifluoridwird hauptsächlich bei Reinigungsprozessen in der Fertigung von großflächigen integrierten Schaltungen und Displaypanels eingesetzt und ist das am weitesten verbreitete Spezialgas für die Elektronikindustrie. Die weltweite Versorgung mitStickstofftrifluoridkönnte mit einer Angebotslücke von Tausenden Tonnen konfrontiert sein, was voraussichtlich Marktchancen eröffnen wirdChinesische Lieferanten von Stickstofftrifluorid.

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Veröffentlichungsdatum: 29. August 2025