Bortrichlorid (BCl3)ist eine anorganische Verbindung, die häufig in Trockenätz- und CVD-Prozessen (Chemical Vapor Deposition) bei der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein farbloses Gas mit starkem, stechendem Geruch bei Raumtemperatur und reagiert empfindlich auf feuchte Luft, da es hydrolysiert und dabei Salzsäure und Borsäure bildet.

Anwendungen von Bortrichlorid

In der HalbleiterindustrieBortrichloridwird hauptsächlich zum Trockenätzen von Aluminium und als Dotierstoff zur Bildung p-leitender Bereiche auf Siliziumwafern verwendet. Es kann auch zum Ätzen von Materialien wie GaAs, Si, AlN und in bestimmten Anwendungen als Borquelle eingesetzt werden. Darüber hinaus findet Bortrichlorid breite Anwendung in der Metallverarbeitung, der Glasindustrie, der chemischen Analyse und der Laborforschung.

Sicherheit von Bortrichlorid

Bortrichloridist ätzend und giftig und kann schwere Augen- und Hautschäden verursachen. Es hydrolysiert in feuchter Luft und setzt giftiges Chlorwasserstoffgas frei. Daher sind beim Umgang mitBortrichlorid, einschließlich des Tragens von Schutzkleidung, Schutzbrille und Atemschutzausrüstung sowie des Betriebs in einer gut belüfteten Umgebung.