Bortrichlorid (BCl3)Es handelt sich um eine anorganische Verbindung, die häufig bei Trockenätz- und CVD-Verfahren (chemische Gasphasenabscheidung) in der Halbleiterfertigung eingesetzt wird. Es ist ein farbloses Gas mit einem stechenden Geruch bei Raumtemperatur und reagiert empfindlich auf feuchte Luft, da es zu Salzsäure und Borsäure hydrolysiert.

Anwendungen von Bortrichlorid

In der HalbleiterindustrieBortrichloridBortrichlorid wird hauptsächlich zum Trockenätzen von Aluminium und als Dotierstoff zur Erzeugung p-dotierter Bereiche auf Siliziumwafern verwendet. Es kann auch zum Ätzen von Materialien wie GaAs, Si und AlN sowie als Borquelle in bestimmten Anwendungen eingesetzt werden. Darüber hinaus findet Bortrichlorid breite Anwendung in der Metallverarbeitung, der Glasindustrie, der chemischen Analytik und der Laborforschung.

Sicherheit von Bortrichlorid

BortrichloridEs ist ätzend und giftig und kann schwere Augen- und Hautschäden verursachen. In feuchter Luft hydrolysiert es und setzt dabei giftiges Chlorwasserstoffgas frei. Daher sind beim Umgang damit geeignete Sicherheitsvorkehrungen zu treffen.Bortrichlorideinschließlich des Tragens von Schutzkleidung, Schutzbrille und Atemschutzgeräten sowie des Arbeitens in einer gut belüfteten Umgebung.