Bor -Trichlorid (BCL3)ist eine anorganische Verbindung, die üblicherweise bei der Herstellung von Semiconductor -Prozessen (CVD) -Prozesse (chemische Dampfablagerung) verwendet wird. Es ist ein farbloses Gas mit einem starken scharfen Geruch bei Raumtemperatur und reagiert für feuchte Luft, da es hydrolysiert, Salzsäure und Borsäure zu produzieren.

Anwendungen von Bor -Trichlorid

In der Halbleiterindustrie,Bor -Trichloridwird hauptsächlich zum Trockenrotieren von Aluminium und als Dotiermittel zur Bildung von P-Typ-Regionen auf Siliziumwafern verwendet. Es kann auch verwendet werden, um Materialien wie GaAs, Si, ALN und als Borquelle in bestimmten spezifischen Anwendungen zu ätzen. Darüber hinaus wird Bor -Trichlorid in der Metallverarbeitung, der Glasindustrie, der chemischen Analyse und der Laborforschung häufig eingesetzt.

Sicherheit von Bor -Trichlorid

Bor -Trichloridist ätzend und giftig und kann die Augen und die Haut ernsthaft beschädigen. Es hydrolysiert in feuchten Luft, um toxisches Wasserstoffchloridgas freizusetzen. Daher müssen bei der Handhabung geeignete Sicherheitsmaßnahmen ergriffen werdenBor -Trichlorid, einschließlich des Tragens von Schutzkleidung, Schutzbrillen und Atemschutzgeräten sowie in einer gut belüfteten Umgebung.